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半导体清洗设备供应商 半导体清洗设备 苏州润玺环保设备

发布日期 :2022-12-31 10:26发布IP:123.58.44.124编号:11346163
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泛半导体工艺伴随许多种特殊制程,半导体清洗设备,会使用到大量超高纯(ppt 级别)的干湿化学品,这是完成工艺成果的重要介质,其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领域,高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中,各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备,各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。



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